展會信息
基本信息
CHInano中國納博會?經過九年的潛心耕耘,已成為中國規模最大、影響力最廣的納米技術應用產業交流盛會,是納米企業形象展示、產品推介、技術交流、市場拓展的最佳舞臺。CHInano 2018第九屆納博會組織了1場主報告和13場主題論壇,221個行業報告,邀請國內外院士23人。設置了13000平方米展區,吸引了國內外7個展團、25個國家、1000多家納米技術相關企業參展、參會,展出1300多件納米技術創新產品,大會期間參會參展人數規模超過14016人。
展品范圍
MEMS 加工設備薄膜成形(汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍;曝光系統、蝕刻技術;防腐處理;刻蝕;晶圓鍵合;切割;芯片/導線焊接;封裝;微成形 (注射, 熱壓);其他生產設備
納米壓印技術
微納米模型;納米壓印生產設備
納米機械
微制程技術
超精度納米機械工藝;超精密加工, 微制造;表面微加工;精細鉆孔;微觀切割;雷射、離子脈沖加工;聚焦離子束系統;微放電加工;超聲波設備等
分析與檢測儀器
光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統;顯微鏡:光學顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀;檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機;氣體分析及檢測、分析和測量系統
軟件建模
設計工具、仿真軟件、CAD & CAE分析軟件
MEMS 代工服務
仿真設計、原型測試、產品開發、量產;其他代工服務:圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
材料
壓電薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗壓材料、附著材料、保護材料;碳納米管、藍寶石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材料、鐵電性材料
生物技術
與醫療應用
MEMS 在醫療處理及診斷方面的應用、DDS、納米膠囊;尖端DNA & RNA 技術、微反應器、微流引導等
MEMS 器件
光學MEMS (反射, 光量開關, 掃描等);射頻MEMS (開關,振蕩器,過濾);MEMS物理傳感器 (加速傳感器,速率傳感器,壓力傳感器,氣體傳感器,溫度傳感器);微射流(微流引導,微感應器等);MEMS執行器(燈,泵);MEMS電能(燃料電池,微發電機等);生物/化學MEMS(DNA/RNA技術,化學檢測等);高復合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)
MEMS 應用
產品 (麥克風,顯示等);超微型機械人裝置、微型工廠等;傳感器網絡;能量收集
主辦信息
指導單位:中國科學技術協會
中國科學院
主辦單位:
中國微米納米技術學會
中國半導體行業協會MEMS分會
中國材料研究學會納米材料與器件分會
合作伙伴:
中國半導體行業協會
中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
中國科學院上海微系統與信息技術研究所
蘇州中科院產業技術創新與育成中心
承辦單位:
江蘇省納米技術產業創新中心
中國半導體行業協會MEMS分會
上海卓格展覽服務有限公司
聯系信息
參展聯系手機:13584824068
郵箱:wancd@sipac.gov.cn
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